洁净室洁净第三方检测相关的标准。

　　1、风速、风量变化次数

　　洁净室和洁净区的洁净度主要是通过输送足够的洁净空气来置换和稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。因此，需要对洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流方向和流型进行测量。

　　压差检测要求:

　　(1)静压差的测量要求洁净区的所有门都关闭。

　　(2)在洁净平面上，应按照洁净度由高到低的顺序进行，直至检测到通向室外的房间。

　　(3)测量喷嘴可以位于室内任何不受气流影响的位置，测量喷嘴表面与气流流线平行。

　　(4)测量和记录的数据应到1.0Pa

　　压差检测步骤:

　　(1)首先关闭所有车门。

　　(2)用压差表测量洁净室、洁净室走廊、走廊与外界的压差。

　　(3)记录所有数据。

　　标准压差要求

　　根据洁净室设计或工艺的要求，决定维持被测洁净室的正压或负压值。

　　(1)不同等级的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差不应小于5Pa。

　　(2)洁净室(区)与室外的静压差不应小于10Pa。

　　(3)空气洁净度等级严于5级(100级)的单向流洁净室开启时，室内工作面在门内0.6m处的粉尘浓度不应大于相应级别的粉尘浓度限值。

　　(4)如果达不到上述标准的要求，应重新调整新风量和排风量，直至合格。